Equipe COM

Responsable : Gabriel FERRO

L’équipe Couches Minces travaille essentiellement sur l’élaboration et la caractérisation de couches minces dont les épaisseurs peuvent varier de quelques mono-couches atomiques à quelques dizaines de µm. Les matériaux déposés sont essentiellement des semi-conducteurs (SiC, GaN, ZnO, Si) et des isolants (BN, SiO2, ZrO2, Al2O3). Pour ce faire, les membres de l’équipe emploient différentes techniques de dépôt par voie chimique (CVD, VLS, Sol-gel, PDC) pour des applications aussi différentes que l’électronique de puissance, la téléphonie mobile, l’aérospatiale, les revêtements hydrophiles ou hydrophobes…

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