Accueil > La recherche > Les Equipes de Recherche > COM : Couches Minces

COM : Couches Minces

Responsable : Gabriel FERRO

L’équipe Couches Minces travaille essentiellement sur l’élaboration et la caractérisation de couches minces dont les épaisseurs peuvent varier de quelques mono-couches atomiques à quelques dizaines de µm. Les matériaux déposés sont essentiellement des semi-conducteurs (SiC, GaN, ZnO, Si) et des isolants (BN, SiO2, ZrO2, Al2O3). Pour ce faire, les membres de l’équipe emploient différentes techniques de dépôt par voie chimique (CVD, VLS, Sol-gel, PDC) pour des applications aussi différentes que l’électronique de puissance, la téléphonie mobile, l’aérospatiale, les revêtements hydrophiles ou hydrophobes...

Cette rubrique ne contient aucun article.